藍寶石襯底材料是一種用于外延生長襯底的材料，藍寶石的穩(wěn)定性很好，能夠運用在高溫生長過程中；同時，藍寶石的機械強度高，易于處理和清洗。因此，大多數工藝一般都以藍寶石作為襯底。

藍寶石作為優(yōu)秀的襯底材料，越來越多的應用于新型半導體材料的外延生長，比如第四代寬禁帶半導體氧化鎵材料的外延生長

藍寶石襯底必須具備如下特性：

高平整度：TTV＜2微米

一致性：批次產品厚度一致性要好，一般要求2微米之內；

外觀無瑕疵：不允許存在崩邊、缺角及內裂，因為這些缺陷的存在會導致用戶使用過程中的缺陷延伸，最終導致產品失效和報廢。

我公司藍寶石襯底（基板）采用雙面拋光工藝，平行度、厚度一致性及平整度達到較高水平，已被眾多半導體廠家采用。